Китайцы создали EUV-сканер на гармониках — в тысячи раз компактнее «шкафов» ASML
Китайская компания Hefei Lumiverse Technology представила первый в мире настольный источник экстремального ультрафиолетового излучения (EUV) на основе генерации высоких гармоник (HHG), который уже используется...





























